Das offene Softwareframework für Anlagensteuerungen und Visualisierungen

ToolCommander®

Foto mit Arm und Hand, die einen Touchscreen bedient

Diese Unternehmen vertrauen auf ToolCommander®

ToolCommander® ist ein flexibles Softwareframework für die Steuerung und Visualisierung von Cluster-, Inline- und Batch-Anlagen in Produktion und Forschung. Dank des  modularen Aufbaus lässt sich ToolCommander® leicht an die spezifischen Anforderungen Ihrer Branche anpassen. Dabei haben Sie die Wahl: Entwickeln Sie die Anlagensteuerung eigenständig, gemeinsam mit unserem erfahrenen Team oder lassen Sie sich Ihre Anlagensteuerung komplett nach Ihren Anforderungen programmieren. Mit über 30 Jahren Expertise in Steuerungslösungen für die Halbleiter-, Beschichtungs- und Photovoltaikindustrie unterstützen wir Sie dabei, die beste Lösung für Ihre Anforderungen zu finden.

ToolCommander® – Ihre Vorteile

    • Effiziente Entwicklung mit C#/.NET und WPF-Visualisierung
    • Schnellere Programmierung dank umfangreichen Features und Komponentenbibliothek
    • Umfassender Support während der Entwicklungs- und gesamter Produktionsphase
    • Simulations- und Testmöglichkeiten von Anfang an, um die Entwicklung zu begleiten
    • Trendmodul zur Prozessüberwachung, Qualitätssicherung und Predictive Maintenance
    • Durchgängig touch-optimierte SEMI E95 Oberfläche für schnellen Zugriff
    • Optimierte Visualisierung für Produktion und Service
    • Einzigartiges Interlock-Handling sowie - I/O- und Systemdiagnose mit Live-Debugging
    • Umfassende Unterstützung bei der Fehlersuche und -behebung
       
    • SEMI-Standardkonformität
    • Vorbereitete SECS/GEM- und GEM300-Integration
    • Schutz des Know-hows durch eigene Entwicklungen
    • Individuelle Nutzerberechtigungen

Ihre Anlagensteuerung mit ToolCommander® – einfach und effektiv

ToolCommander® ist die ideale Lösung für die Anlagensteuerung in der Halbleiterindustrie und vielen anderen Branchen. Mit SEMI-konformer Integration, zuverlässigen Prozessen und hoher Effizienz steigert es Ihre Produktivität und minimiert Ausfallzeiten – und das in den unterschiedlichsten Produktionsumgebungen. 

Bedienoberfläche Anlagensteuerung ToolCommander
Clusteranlagen
Clusteranlagen

Von der Materialzufuhr über Scheduling und Rezeptausführung bis zur Überwachung der Prozessparameter – ToolCommander® bietet Ihnen eine SEMI-konforme Steuerung für Clusteranlagen in der Halbleiterindustrie. So behalten Sie stets die volle Kontrolle über alle Abläufe. 

Batchanlagen
Batchanlagen

Mit ToolCommander® steuern Sie den gesamten Prozess Ihrer Batchanlagen effizient, einschließlich Komponenten wie Ventilen und Motoren. So erzielen Sie optimale Ergebnisse, zum Beispiel in der Vakuumbeschichtung.

Inline-Anlagen
Inline-Anlage

In Inline-Anlagen, wie sie in der Glas- oder Photovoltaikindustrie eingesetzt werden, übernimmt ToolCommander® nicht nur die Steuerung und Visualisierung der Prozesse, sondern auch die übergeordnete Kontrolle der Materialbewegungen. So laufen alle Prozesse reibungslos. 

Ihre Anlagensteuerung mit ToolCommander®: Schritt für Schritt zum Ziel

Mit ToolCommander® und über 30 Jahren Erfahrung in der Programmierung von Anlagensteuerungen sind wir Ihr verlässlicher Partner. Von der Beratung über die Spezifikation und Realisierung bis hin zu Test, Inbetriebnahme und Wartung – wir begleiten Sie in allen Phasen. Sie entscheiden, in welchem Umfang Sie unsere Unterstützung nutzen möchten.

Und das Beste: Auch nach Abschluss des Projekts bleiben Sie flexibel. Dank unseres offenen Softwareframeworks können Sie bei Bedarf die Steuerung eigenständig weiterentwickeln und anpassen. So behalten Sie die volle Kontrolle über Ihre Anlagen und können jederzeit auf neue Herausforderungen reagieren.
 

Anlagensteuerung gemeinsam umsetzen

Wir entwickeln die Steuerung Ihrer Anlagen gemeinsam mit Ihnen auf Basis von ToolCommander®. Dank des offenen Softwareframeworks und einer umfassenden Komponentenbibliothek haben Sie die Flexibilität, selbst zu bestimmen, wie viel Unterstützung Sie von uns benötigen. Zusätzlich bieten wir Schulungen, Beratung und Support, damit Sie flexibel bleiben und Ihre Aufgaben optimal verteilen können – je nach Zeit und Erfahrung. 

Anlagensteuerung selbstständig entwickeln

Mit dem ToolCommander® Softwareframework entwickeln Sie Ihre Anlagensteuerung eigenständig und flexibel. Dank einer umfangreichen Komponentenbibliothek können Sie genau die Bausteine auswählen, die Sie benötigen. Das offene Framework bietet dabei maximale Flexibilität und lässt sich individuell an Ihre Anforderungen anpassen. Wenn Sie Unterstützung brauchen, stehen wir Ihnen mit Schulungen, Beratung und Support zur Seite.

Anlagensteuerung durch uns nach Ihren Anforderungen entwickeln lassen

Wenn Ihnen die Zeit oder Erfahrung fehlt, sind wir der verlässliche Partner an Ihrer Seite. Mit über 30 Jahren Expertise in der Steuerungsprogrammierung für den Maschinen- und Anlagenbau bieten wir maßgeschneiderte Lösungen, die wir genau auf Ihre Anforderungen abstimmen. Ihre Anlagensteuerung mit ToolCommander® entwickeln wir exakt nach Ihren Wünschen und sorgen so für reibungslose Abläufe in Ihrer Produktion.

Das sagen unsere Kunden über ToolCommander®

  • "Wir waren auf der Suche nach einer Anlagensteuerung mit GUI und Host-Anbindung. Besonders die Konnektivitätslösung sollte den hohen Anforderungen unserer Kunden entsprechen. Bei Kontron AIS haben wir das Komplettpaket gefunden, welches im Gegensatz zu anderen Anbietern auch die Prozesssteuerung beinhaltete. Die Kombination von vorgefertigten und Trymax-spezifischen Funktionen gibt unseren Anlagen einen klaren Mehrwert. Innerhalb einer Plattform können unsere Kunden aus verschiedenen Anlagentypen hinsichtlich Prozesstyp, Wafergröße und Durchsatz wählen. Bereits seit vielen Jahren pflegen wir eine sehr partnerschaftliche Zusammenarbeit."

    Enrico Schellekens, Product Manager, Trymax Semiconductor Equipment B.V.
  • “Wir entwickelten zwei neue Anlagenserien für eine zuverlässige und sichere Wafer-Inspektion mit hohem Durchsatz, um den steigenden Chipbedarf zu decken. Mit der Anlagensteuerung ToolCommander® und der Schnittstellenintegrationslösung FabLink® war Kontron AIS als erfahrener Partner immer an unserer Seite – von der Projektplanung, über die GEM300-Spezifikation bis hin zu den Schulungen und der Inbetriebnahme.”

    Gerd Scheuring, Head R&D/Leiter der Entwicklung, MueTec Automatisierte Mikroskopie und Meßtechnik GmbH
  • “Die Kontron AIS hat umfassende Steuerungsrefurbishments auf sechs Produktionsanlagen durchgeführt. Die Inbetriebsetzung erfolgte sehr effizient. Die ToolCommander® Anlagensteuerungen sind technisch sehr durchdacht und haben eine ausgezeichnete Benutzerfreundlichkeit. Bis zum Schluss wurden auch kleinste Details verbessert. Sehr gern setzen wir auch in Zukunft weiter auf Lösungen der Kontron AIS.”

    Michael Brönnimann, Projektleiter, Kaltbrunner AG
  • “Wir arbeiten bereits seit langer Zeit mit Kontron AIS zusammen und haben am Anfang ihre Software zur Steuerung von Clusteranlagen eingesetzt. Mit ihrer Steuerungssoftware ToolCommander® haben wir die passende Software zur Steuerung unserer neuen vertikalen Kleinchargen-Ofensysteme für Prozessanwendungen in der Halbleiterindustrie gefunden. ToolCommander® bietet die perfekte Anbindung für die verwendete Roboter-Hardware und die FOUP-Öffner sowie die OHT-Anbindung über die FabLink®-Suite für die SECS/GEM-Kommunikation zum Factory Host. Entwicklung, Installation und Inbetriebnahme wurden sehr effizient und innerhalb des geplanten Zeitrahmens durchgeführt. Wir freuen uns auch in Zukunft auf eine gute Zusammenarbeit.”

    Frans Derks, Sr. Area Sales Manager, Tempress Holding B.V.

Features im Überblick

ToolCommander® bietet Ihnen eine breite Auswahl an etablierten Features um die Steuerung Ihrer Anlagen zuverlässig und effizient umzusetzen. Ob z.B. in der Halbleiterproduktion, Vakuumbeschichtung, Solar, LED oder MEMS – mit ToolCommander® steuern Sie Ihre Anlagen schnell und sicher. 

Basisfunktionen

Benutzerverwaltung

ToolCommander® bietet eine integrierte Nutzerverwaltung, bei der die Zugriffsrechte flexibel anpassbar sind. So behalten Sie jederzeit die Kontrolle darüber, wer auf die Steuerung der Anlage zugreifen darf.

Alarm-Management

ToolCommander® visualisiert Alarme und Meldungen und stellt praktische Funktionen für deren Bearbeitung bereit. Ein Archiv speichert alle Meldungen als Verlaufsdaten ab. So stellen Sie eine zuverlässige Nachverfolgbarkeit und mehr Transparenz sicher.

Trend

ToolCommander® bietet Ihnen die einfache Konfiguration grafische und tabellarischer Darstellungen von Live- sowie historischen Prozess- und Anlagendaten. Bei Bedarf können Sie diese Daten gezielt aus dem Datenarchiv des ToolCommander® exportieren.

Visualisierung

GUI via WPF

Die ToolCommander® Benutzeroberfläche mit einem durchgängigen Touch-Bedienkonzept (SEMI E95) ermöglicht einen einfachen Zugriff auf die Steuerung direkt an der Maschine. Sie bietet einen Überblick über die Anlage, die Rezepte und ermöglicht sogar Live-Debugging.

Dank der Echtzeit-Visualisierung der Interlocks wissen Bediener*innen immer, welche Steuerungsaktivitäten gerade möglich sind erhalten einen klaren Status der relevanten Bedingungen. Die Sprache kann während des laufenden Betriebs jederzeit umgestellt werden.

Steuerung

Scheduling

Das Scheduling in ToolCommander® sorgt dafür, dass die Arbeitsschritte in der bestmöglichen Reihenfolge und in Echtzeit ausgeführt werden. So können unterschiedliche Prioritäten in verschiedenen Anlagenserien berücksichtigt werden. Sie haben die Wahl zwischen Flussrezepten oder einer Optimierung auf Basis von Algorithmen. So finden Sie mit unserer Unterstützung den optimalen Weg durch Ihre Anlage.

Materialmanagement

Mit dem Materialmanagement in ToolCommander® identifizieren und verfolgen Sie Materialien in Ihrem Prozess. Zusätzlich können Sie einzelne Jobs den entsprechenden Materialien zuordnen, um den Überblick zu behalten.

Jobmanagement

ToolCommander® steuert und verwaltet die Aufträge Ihrer Anlage. Dabei werden sowohl Control Jobs (CJ) als auch Process Jobs (PJ) gemäß den SEMI-Standards verwaltet. Besonders im Jobmanagement (SEMI E94) der Halbleiterindustrie sorgt ToolCommander® für eine reibungslose und standardkonforme Verwaltung.

Rezeptmanagement

ToolCommander® ermöglicht nicht nur die Erstellung und Verwaltung von Prozessrezepten, sondern zeigt auch den aktuellen Status der Rezepte an. Darüber hinaus steuert er Ihre Durchlaufrezepte. Sie können genau festlegen, wer auf die Rezepte zugreifen darf und in welchem Umfang.

Inbetriebnahme und Wartung

Simulation und Test

ToolCommander® bietet Ihnen umfassende Simulationsmöglichkeiten bis auf die I/O-Ebene und die Hardware-Endpunkte. Dieser detaillierte Ansatz hilft, Fehler früh im Entwicklungsprozess zu erkennen. So können Sie Anlagen schrittweise in Betrieb nehmen und bisher simulierte Systeme einfach durch produktive Systeme austauschen. Für Tests können einzelne Werte gezielt verändert werden. Das spart wertvolle Zeit während der Inbetriebnahme und bei der Fehlersuche im Servicefall.

Handbedienung

Mit der Handbedienung steuern und parametrieren Sie einzelne Komponenten und können somit bei der Inbetriebnahme und Wartung auf ein hilfreiches Werkzeug zurückgreifen. Im Handbediendialog von ToolCommander® werden in Echtzeit die Ist- und Soll-Werte sowie Interlocks ausgeben.

Diagnose und Fehlerbehebung

I/O-Diagnose

Mit ToolCommander® können Bediener*innen nicht nur alle digitalen und analogen Ein- und Ausgänge über die I/O-Diagnose ermitteln, sondern auch manuell die Steuerung der Kanäle übernehmen. So lassen sich Fehlerquellen leichter erkennen. 

Systemdiagnose

Die Systemdiagnose von ToolCommander® ermöglicht es, alle Steuerungsprozesse der Anlage nachzuverfolgen und Fehler direkt im laufenden Betrieb zu beheben. Service-Ingenieur*innen können mit der Live-Debugging-Funktion Probleme direkt an der Anlage lösen, was die Stillstandszeiten deutlich verkürzt. Dadurch verringert sich auch der Wartungsaufwand erheblich.

Logging

Das Logging beim ToolCommander® erfolgt in einer Postgres-Datenbank. So werden Alarm, Prozess- und Materialdaten gespeichert. Darüber hinaus steht Ihnen ein Domain- und Debug-Logging zur Nachverfolgbarkeit aller Steuerungsvorgänge und zur optimalen Fehlerbehebung zur Verfügung.

SEMI-Standardkonformität für die Halbleiterindustrie

Mit der integrierten Unterstützung aller wichtigen SEMI-Standards ermöglicht Ihnen ToolCommander®, Ihre Anlagen sicher und standardkonform in Halbleiterfabriken zu integrieren. Durch unsere Schnittstellenlösung FabLink® wird die Anlagenintegration nach den SECS/GEM-, GEM300- und EDA-Standards einfach umgesetzt. Weitere Informationen zu den Standards und deren Anwendung finden Sie hier.

SECS/GEM (200 mm)GEM300 (300 mm)EDA (Interface A)
  • E5 – SECS-II
  • E30 – Generic Equipment Model (GEM)
  • E37 – HSMS (TCP/IP)
  • E39 – Object Services
  • E40 – Process Job Management
  • E84 – Carrier Handoff
  • E87 – Carrier Management
  • E90 – Substrate Tracking
  • E94 – Control Job Management
  • E116 – Equipment Performance Tracking
  • E120 – Common Equipment Model
  • E125 – Equipment Self-Description
  • E128 – XML Message Structures
  • E132 – Authentication and Authorization
  • E138 – SEMI Common Components
  • E145 – Measurement Unit Symbols in XML

Ihre Ansprechpartner