Das offene Softwareframework für Anlagensteuerungen und Visualisierungen
ToolCommander®
ToolCommander® ist das offene Softwareframework für Anlagensteuerungen und Visualisierungen für Cluster-, Inline- und Batch-Anlagen in Produktion und Forschung. Dank des modularen Aufbaus kann ToolCommander® einfach an die individuellen Anforderungen unterschiedlichster Branchen angepasst werden. Mit dem offenen Ansatz realisieren Sie Ihre Anlagensteuerung komplett eigenständig oder gemeinsam mit unserem Team, das über mehr als 30 Jahre Erfahrung in der Umsetzung von Steuerungslösungen für die Halbleiter-, Beschichtungs- und Photovoltaikindustrie verfügt.
ToolCommander® – Ihre Vorteile
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- Effiziente Entwicklung mit C#/.NET-Framework und WPF-Visualisierung
- Beschleunigte Programmierung durch umfangreiche Features und Komponentenbibliothek
- Umfassender Entwicklungs- und Produktsupport
- Entwicklungsbegleitende Simulations- und Testmöglichkeit von Beginn an
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- Trendmodul zur Prozessüberwachung, Qualitätssicherung und Predictive Maintenance
- Durchgängige Touch-Optimierung für schnellen Zugriff (SEMI E95)
- Optimierte Visualisierung für Produktion und Service
- Einzigartiges Interlock-Handling, System- und I/O-Diagnose mit Live-Debugging
- Umfangreiche Unterstützung bei Fehlersuche und -behebung
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- SEMI-Standardkonformität
- Vorbereitete SECS/GEM- und GEM300-Integration
- Know-how-Schutz durch eigene Entwicklungen
- Konfigurierbare Nutzerberechtigungen
Effiziente Anlagensteuerungen mit ToolCommander®
Von der Materialzuführung über Scheduling und Rezeptausführung bis hin zur Überwachung von Prozessparametern – ToolCommander® bietet Ihnen eine SEMI-konforme Anlagensteuerung in der Halbleiterindustrie für Clusteranlagen.
Mit ToolCommander® steuern Sie den gesamten Prozess von Batchanlagen einschließlich der installierten Komponenten (z.B. Ventile, Motoren) für optimale Ergebnisse, zum Beispiel in der Vakuumbeschichtung.
Bei Inline-Anlagen, zum Beispiel in der Glas- oder Photovoltaikindustrie übernimmt ToolCommander® neben der Prozesssteuerung und -visualisierung auch die übergeordnete Kontrolle der Materialbewegungsabläufe.
Ihre Wege zu einer Anlagensteuerung mit ToolCommander®
Mit ToolCommander® und mehr als 30 Jahren Erfahrung bei der Programmierung von Anlagensteuerungen sind wir Ihr Full-Service-Partner und bieten: Beratung, Spezifikation, Realisierung, Testphase, Inbetriebnahme und Wartung.
Wir unterstützen Sie auf dem Weg zu Ihrer Anlagensteuerung – in welchen Umfang liegt komplett in Ihrer Hand.
Gemeinsam mit Ihnen entwickeln wir Ihre Anlagensteuerung auf Basis des ToolCommander® und unterstützen Sie mit Schulungen, Consulting und Support. So bleiben Sie flexibel und verteilen Ihre Arbeitspakete optimal entsprechend Ihrer zeitlichen Kapazitäten und Erfahrungen.
Entwickeln Sie Ihre Anlagensteuerung mit dem ToolCommander® Softwareframework komplett eigenständig und vollkommen unabhängig. Bei Bedarf sind wir an Ihrer Seite und bieten Ihnen Schulungen, Consulting und Support.
Wenn es Ihnen an Zeit und Erfahrung fehlt, dann setzen Sie einfach auf unser mehr als 30-jähriges Know-how in der Steuerungsprogrammierung für den Anlagen- und Maschinenbau. Wir entwickeln Ihre ToolCommander® Anlagensteuerung maßgeschneidert zu Ihren Anforderungen.
Das sagen unsere Kunden über ToolCommander®
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"Wir waren auf der Suche nach einer Anlagensteuerung mit GUI und Host-Anbindung. Besonders die Konnektivitätslösung sollte den hohen Anforderungen unserer Kunden entsprechen. Bei Kontron AIS haben wir das Komplettpaket gefunden, welches im Gegensatz zu anderen Anbietern auch die Prozesssteuerung beinhaltete. Die Kombination von vorgefertigten und Trymax-spezifischen Funktionen gibt unseren Anlagen einen klaren Mehrwert. Innerhalb einer Plattform können unsere Kunden aus verschiedenen Anlagentypen hinsichtlich Prozesstyp, Wafergröße und Durchsatz wählen. Bereits seit vielen Jahren pflegen wir eine sehr partnerschaftliche Zusammenarbeit."
Enrico Schellekens, Product Manager, Trymax Semiconductor Equipment B.V.
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“Wir entwickelten zwei neue Anlagenserien für eine zuverlässige und sichere Wafer-Inspektion mit hohem Durchsatz, um den steigenden Chipbedarf zu decken. Mit der Anlagensteuerung ToolCommander® und der Schnittstellenintegrationslösung FabLink® war Kontron AIS als erfahrener Partner immer an unserer Seite – von der Projektplanung, über die GEM300-Spezifikation bis hin zu den Schulungen und der Inbetriebnahme.”
Gerd Scheuring, Head R&D/Leiter der Entwicklung, MueTec Automatisierte Mikroskopie und Meßtechnik GmbH
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“Die Kontron AIS hat umfassende Steuerungsrefurbishments auf sechs Produktionsanlagen durchgeführt. Die Inbetriebsetzung erfolgte sehr effizient. Die ToolCommander® Anlagensteuerungen sind technisch sehr durchdacht und haben eine ausgezeichnete Benutzerfreundlichkeit. Bis zum Schluss wurden auch kleinste Details verbessert. Sehr gern setzen wir auch in Zukunft weiter auf Lösungen der Kontron AIS.”
Michael Brönnimann, Projektleiter, Kaltbrunner AG
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“Wir arbeiten bereits seit langer Zeit mit Kontron AIS zusammen und haben am Anfang ihre Software zur Steuerung von Clusteranlagen eingesetzt. Mit ihrer Steuerungssoftware ToolCommander® haben wir die passende Software zur Steuerung unserer neuen vertikalen Kleinchargen-Ofensysteme für Prozessanwendungen in der Halbleiterindustrie gefunden. ToolCommander® bietet die perfekte Anbindung für die verwendete Roboter-Hardware und die FOUP-Öffner sowie die OHT-Anbindung über die FabLink®-Suite für die SECS/GEM-Kommunikation zum Factory Host. Entwicklung, Installation und Inbetriebnahme wurden sehr effizient und innerhalb des geplanten Zeitrahmens durchgeführt. Wir freuen uns auch in Zukunft auf eine gute Zusammenarbeit.”
Frans Derks, Sr. Area Sales Manager, Tempress Holding B.V.
Features im Überblick
ToolCommander® bietet Ihnen vielfältige und bewährte Features für die zuverlässige und schnelle Umsetzung Ihrer Anlagensteuerung im Bereich Halbleiter, Vakuumbeschichtung, Solar, LED und MEMS.
Visualisierung
Die ToolCommander® GUI mit durchgängigem Touch-Bedienkonzept (SEMI E95) ermöglicht komfortablen Zugriff auf die Steuerung direkt an der Anlage – vom Überblick über die Anlage und Rezepte bis hin zum Live-Debugging an der Anlage selbst. Die transparente Echtzeit-Visualisierung von Interlocks gibt Bediener*innen in der Handbedienung die notwendige Orientierung, welche Steuerungsaktivitäten gegenwärtig möglich sind und zeigt den Status der relevanten Bedingungen. Die Sprachumstellung ist jederzeit im laufenden Betrieb möglich.
Steuerung
Das Scheduling im ToolCommander® umfasst die optimierte Reihenfolge der Ausführung der einzelnen Arbeitsschritte in Echtzeit. Damit adressieren wir die Anforderung, dass die Prioritäten innerhalb verschiedener Anlagenserien variieren. Wählen Sie zwischen Flussrezepten und Algorithmen-basierter Optimierung und finden Sie mit unserer Hilfe so den optimalen Weg durch die Anlage.
Mit dem ToolCommander® Materialmanagement identifizieren und tracken Sie die Materialien und ordnen Sie einzelne Jobs zu.
ToolCommander® steuert und verwaltet die Aufträge der Anlage. Im Hinblick auf das Jobmanagement (E94) in der Halbleiterindustrie werden sowohl Control Jobs (CJ) als auch Process Jobs (PJ) SEMI-konform verwaltet.
Neben der Erstellung und Verwaltung von Prozessrezepten sowie der Darstellung des Rezeptstatus steuert ToolCommander® auch Ihre Durchlaufrezepte. Sie entscheiden, wer und in welchem Ausmaß auf Ihre Rezepte zugreifen darf.
Inbetriebnahme und Wartung
ToolCommander® eröffnet Ihnen die vollständige Simulationsfähigkeit bis hinunter auf die I/O-Ebene und die Hardware-Endpoints. Dieser hohe Detailgrad ermöglicht eine frühzeitige Fehlererkennung im Entwicklungsprozess, schrittweise Inbetriebnahme und einen einfachen Austausch der zu simulierenden Systeme. Einzelne Werte können für Testszenarien gezielt manipuliert werden. Das spart während der Inbetriebnahme und Fehleridentifikation im Servicefall wertvolle Zeit.
Die Handbedienung ermöglicht die Steuerung und Parametrierung von Einzelkomponenten und wird so zu einem starken Tool für Sie bei Inbetriebnahme und Wartung. Innerhalb des Handbediendialogs des ToolCommander® werden Ist- und Soll-Werte sowie Interlocks in Echtzeit angezeigt.
Diagnose und Fehlerbehebung
Neben der Diagnose aller digitalen und analogen Ein- und Ausgänge, können Bediener*innen mit ToolCommander® manuelle Kanalsteuerungen vornehmen, um Fehlerquellen zu identifizieren.
Die Systemdiagnose des ToolCommander® ermöglicht die Nachverfolgung aller Steuerungsprozesse der Anlage und bietet die Möglichkeit zum Live-Debugging. Der Wartungsaufwand wird erheblich reduziert und Service-Ingenieure können Fehler direkt an der Anlage beheben und so Stillstandszeiten minimieren.
Das Logging beim ToolCommander® erfolgt in einer Postgres-Datenbank. So werden Alarm, Prozess- und Materialdaten gespeichert. Darüber hinaus steht Ihnen ein Domain- und Debug-Logging zur Nachverfolgbarkeit aller Steuerungsvorgänge und zur optimalen Fehlerbehebung zur Verfügung.
Basisfunktionen
ToolCommander® verfügt über eine integrierte Nutzerverwaltung mit konfigurierbaren Nutzerrechten. So behalten Sie jederzeit die Kontrolle über den Zugriff auf die Steuerung der Anlage.
Alarme und Meldungen werden durch ToolCommander® visualisiert und alarmbezogene Funktionen für das Handling angeboten. Ein Archiv für alle Alarme, Warnungen und Meldungen bietet Nachverfolgbarkeit und Transparenz.
Konfigurieren Sie Ihre übersichtliche grafische und tabellarische Darstellung von Live- und historischen Prozess- und Anlagendaten. Bei Bedarf können Sie die Daten aus dem Datenarchiv des ToolCommander® gezielt exportieren.
SEMI-Standardkonformität für die Halbleiterindustrie
Mit der integrierten Unterstützung aller relevanten SEMI-Standards ermöglicht Ihnen ToolCommander® die sichere und standardkonforme Platzierung Ihrer Anlagen in Halbleiterfabriken. Mit unserer Schnittstellenlösung FabLink® erfolgt die Anlagenintegration nach dem SECS/GEM-, GEM300- und EDA-Standard. Weitere detaillierte Informationen zu den Standards und deren Anwendung finden Sie hier.
| SECS/GEM (200 mm) | GEM300 (300 mm) | EDA (Interface A) |
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Ihre Ansprechpartner
