Die SEMI-konforme SECS/GEM-, GEM300-, EDA-, PV2- und SEMI A3-Schnittstelle

• E4 SECS I
• E5 SECS II
• E30 GEM
• E37 HSMS
• Dokumentation
• E167 Specification for Equipment Energy Saving Mode Communications (EESM)

SECS/GEM ist eine Gruppe von Kommunikationsstandards, die von der Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI) entwickelt wurde. SECS steht für "SEMI Equipment Communication Standard," während GEM das "Generic Equipment Model" bezeichnet. GEM bezieht sich auf den SEMI-Konnektivitätsstandard E30 und definiert ein allgemeines Modell für die Kommunikation und Steuerung von Fertigungsanlagen. Mit SECS/GEM erhalten Sie eine einheitliche Schnittstelle, die eine nahtlose Kommunikation zwischen Ihren automatisierten Anlagen und dem Host ermöglicht. Ursprünglich für die Halbleiterindustrie entwickelt, hat sich dieser Standard auch in anderen Branchen wie der PCB-, LED-, Flatpanel- und OLED-Fertigung bewährt.

• E39 Object Service
• E40 Processing Management
• E87 Carrier Management
• E90 Substrate Tracking
• E94 Control Job Management
• E116 Equipment Performance Tracking

Die SECS/GEM-Standards werden in Fabriken mit niedrigerem Automatisierungsgrad verwendet. Für die High-End-Produktion, die beispielsweise einen automatisierten Materialtransport innerhalb der Fabrik nutzt (wie AGV oder OHT), sind jedoch zusätzliche Standardisierungen nach den GEM300-Standards erforderlich. Diese bauen auf den SECS/GEM-Standards auf und ermöglichen unter anderem die detaillierte Nachverfolgung und Freigabe von Carriern und einzelnen Substraten (SEMI E87). 

• E120 Common Equipment Model
• E125 Equipment Self Description
• E128 Specification for XML Message Structures
• E132 Authentication and Authorization
• E134 Data Collection Management
• E138 Semiconductor Common Components
• E145 Classification for Measurement Unit Symbols in XML

EDA (Equipment Data Acquisition), auch bekannt als Interface A, ist ein wichtiger Schnittstellenstandard in der Halbleiterindustrie, der verschiedene SEMI-Standards vereint. Moderne Halbleiterfabriken benötigen große Mengen an Maschinen- und Prozessdaten, um die Produktion kontinuierlich zu optimieren. Genau dafür wurde EDA entwickelt. 

Im Gegensatz zur bidirektionalen SECS/GEM-Schnittstelle, die sowohl die Kommunikation als auch die Steuerung der Anlagen ermöglicht, konzentriert sich EDA ausschließlich auf die Bereitstellung großer Datenmengen. EDA dient somit als zweite Schnittstelle neben SECS/GEM oder GEM300 und liefert die Datenbasis für Optimierungen, die beispielsweise durch den Einsatz von KI-Tools realisiert werden können. 

• Guide for PV Equipment Communication Interfaces (PVECI)

Der PV2-Standard bietet eine einheitliche IT-Schnittstelle für Produktionsanlagen in der Photovoltaik-Industrie. Er basiert auf den bewährten SECS/GEM-Standards, wurde jedoch speziell an die Anforderungen der Branche angepasst. Dadurch unterstützt PV2 den Einsatz leistungsstarker Softwaresysteme zur Fabriksteuerung und -management.

Mit SEMI PV2 können Fabrik-IT-Systeme, wie zum Beispiel Manufacturing Execution Systems (MES), auf die Produktionsanlagen zugreifen und Prozessparameter anpassen. Gleichzeitig stellt die Schnittstelle Mess-, Prozess- und Leistungsdaten der Anlagen zur Verfügung – alles, um die Effizienz und Kontrolle in der Produktion zu verbessern.

• A3-0819 Specification for Printed Circuit Board Equipment Communication Interfaces (PCBECI)

Im Jahr 2019 veröffentlichte SEMI den Standard SEMI A3-0819, der die Anforderungen an die Kommunikationsschnittstellen für Leiterplattenfertigungsanlagen (PCBECI) beschreibt. Der SEMI A3-Standard ist eine angepasste Version der SECS/GEM-Standards, der speziell für die Elektronikfertigung entwickelt wurde. Er definiert eine Standardschnittstelle für die bidirektionale Kommunikation zwischen Anlage und Host in der Leiterplattenfertigung. Um das Datenmanagement zu vereinfachen wurden einige SECS/GEM-Funktionalitäten eingeschränkt. Der SEMI A3-0819 bietet damit einen robusten, umfassenden und erweiterbaren Standard für die Shopfloor-Kommunikation.