SEMI E120
Specification for the Common Equipment Model (CEM)
Dieser EDA-Standard (Equipment Data Acquisition) bietet Objektmodellregeln für eine konsistente Struktur aller Gerätekomponenten, die eine effiziente Kommunikation mit dem Host unterstützen. Dazu gehören z. B. Klassen, Attribute und Beziehungen, die für die Host-Anwendung der Fabrik relevant und ihr bekannt sind. Es wird ein Basismodell beschrieben, das während der Projektrealisierung erweitert werden kann.
Physikalische Anlagenmodule wie Loadports, Prozesskammern oder Sensoren werden als Module, Subsysteme und IO-Geräte klassifiziert, während logische Elemente Softwaremodule, wie zum Beispiel Rezepturmanager oder Scheduler auf der Anlage laufen.
Bitte beachten Sie, dass EDA ("Interface A") ein separater Kanal ist, der parallel zu einem SECS-Kommunikationskanal existiert, der für SECS/GEM und GEM300 verwendet wird. EDA erfordert nicht, SECS/GEM-konforme Nachrichten zu verwenden (SEMI E5 und E30).