SEMI E39: Object Services
Specification for Object Services: Concepts, Behavior, and Services
Der Object Services Standard (OSS) beschreibt Grundlagen für Objekte, die in GEM300-Halbleiterfertigungen verwendet werden. Er stellt allgemeine Funktionalitäten zur Verfügung, wie z.B. das Anlegen und Löschen von Objekten, deklariert allgemein benötigte Attribute und beschreibt Dienste, z.B. wie Attribute aktualisiert werden können ("SetAttr"). Die Objekte können physisch oder auch nur konzeptionell sein und sind in Objekttypen wie "Substrate", "Carrier" oder "ProcessJob" gruppiert. Ähnlich wie bei SEMI E5 Custom Stream Functions ist es auch möglich, Custom Object Types zu definieren. Während der Objekttyp als eine Schablone angesehen werden kann, die die Daten und das Verhalten angibt, die für diese Objektklasse möglich sind, ist die Objektinstanz das eigentliche Objekt mit spezifischen Daten, z. B. einer bestimmten ID und technischen Werten.
Die in SEMI E39 beschriebenen Konzepte werden von zahlreichen anderen Normen wie SEMI E40 ("Process Job Management"), SEMI E87 ("Carrier Management") und SEMI E94 ("Control Job Management") verwendet.