SEMI E37
Specification for High-Speed SECS Message Services (HSMS) Generic Services
Dieser Standard definiert ein Ethernet (TCP/IP) Kommunikationshandshake und ein Übertragungsprotokoll zum Austausch von SECS-II-Messages. Die TCP/IP-Verbindung wird immer dann verwendet, wenn eine schnellere Kommunikation erforderlich ist. Ethernet (TCP/IP) wird heute im Vergleich zur seriellen RS232-Schnittstelle, die in SEMI E4 (SECS-I) beschrieben ist, häufiger verwendet. Die HSMS-Kommunikation über den TCP/IP Industriestandard ermöglicht es Maschinenbauern (OEMs), Anlagen für die Halbleiterfertigung zu bauen, die schnell und einfach integriert und mit dem Host kommunizieren können.