SEMI E116
Specification for Equipment Performance Tracking
Dieser Standard führt die Verfolgung der grundlegenden Anlagenleistung und die Meldung grundlegender Anlagenzustände wie Betriebszeit und Ausfallzeit für die gesamte Anlage oder für einzelne Module (z. B. Prozesskammern, Ladeanschlüsse, Roboter) ein.
Mögliche Anlagenzustände sind:
- IDLE - bereit und wartend auf Arbeit
- BUSY - Arbeit im Gange
- BOCKED - Fehler aufgetreten
Dies hilft OEMs, ihre Anlagen im Hinblick auf Durchsatz, Hardware-Zuverlässigkeit und Gesamtsystemleistung zu verbessern, während Fabs überwachen können, ob ihre Produktionsleistungsziele erreicht werden.