SEMI E87
Specification for Carrier Management (CMS)
Automatisiertes Materialmanagement ist in einer vollautomatisierten Fertigung von entscheidender Bedeutung. Diese Norm beschreibt die Kommunikation zwischen Host und Anlage über die Koordinierung, Ausführung und Beendigung des Transports von Carriern zu oder von der Produktionsanlage oder den Pufferstationen (innerhalb der Fabrik oder in der Anlage integriert). Dies kann automatisiert durch ein automatisches Materialtransportsystem (AMHS) erfolgen, wie es in GEM300-Fabriken üblich ist, oder manuell, z. B. im Engineering-Mode. Der Standard enthält detaillierte Lösungen für das Materialhandling und denkt mögliche Fehlerszenarien durch.
Typischerweise kann das Material im ankommenden Carrier nur verarbeitet werden, wenn die folgenden Schritte am Loadport erfolgreich abgeschlossen wurden:
- Carrier geladen
- CarrierID gelesen und validiert
- Slot Map gelesen und validiert
Nach Abschluss der Carrier-Verarbeitung wird der Carrier zum nächsten Produktionsmittel weiterbefördert oder entladen, wenn er den letzten Produktionsschritt durchlaufen hat.