SEMI E145
Classification for Measurement Unit Symbols in XML
SEMI E145 definiert XML-Strukturen für Messeinheiten und Messeinheitensymbole und beschreibt zusätzlich, wie benutzerdefinierte Symbole hinzugefügt werden können und welche Regeln dafür gelten.
Bitte beachten Sie, dass EDA ("Interface A") ein separater Kanal ist, der parallel zu einem SECS-Kommunikationskanal existiert, der für SECS/GEM und GEM300 verwendet wird. EDA erfordert nicht, SECS/GEM-konforme Nachrichten zu verwenden (SEMI E5 und E30).