SEMI E138
Specification for XML Semiconductor Common Components
Dieser Standard definiert gemeinsame XML-Elemente, die in mehreren Standards ähnlich sind. Dazu gehören Errors, Data Types, Data Value Types und Units. Er bietet auch ein Mapping für Definitionen zwischen EDA und SECS-II Datentypen.
Bitte beachten Sie, dass EDA ("Interface A") ein separater Kanal ist, der parallel zu einem SECS-Kommunikationskanal existiert, der für SECS/GEM und GEM300 verwendet wird. EDA erfordert nicht, SECS/GEM-konforme Nachrichten zu verwenden (SEMI E5 und E30).