SEMI E40
Specification for Processing Management
Dieser SEMI-Standard ist für die automatisierte Materialverarbeitung mit Process Jobs relevant. Process Jobs definieren, welches Material von der Anlage verarbeitet werden soll, in welcher Reihenfolge die Prozessschritte durchgeführt werden sollen und welche Rezepte Anwendung finden. Es ist auch möglich, Jobs ohne Material laufen zu lassen, z.B. einen Prozesskammer-Reinigungsjob, der einem definierten Rezept folgt, um die Prozesskammer für den eigentlichen Prozess vorzubereiten.
Er bietet Konzepte und Verhaltensregeln und geht so weit, dass er das Messaging spezifiziert.
Wenn ein Process Job erstellt wurde, kann er automatisch gestartet werden, sobald das erwartete Material eintrifft, oder die Befehle (Start, Stopp, Abbruch, Pause oder Wiederaufnahme) werden vom Host erteilt.
Das Job Management in GEM300 besteht aus zwei Komponenten: Prozessaufträge (Process Jobs) und Steuerungsaufträge (Control Jobs). Die Verwaltung von Control Jobs ist in SEMI E94 spezifiziert.