SEMI E30 – GEM (Generic Equipment Model)

Dies ist der grundlegende Standard für eine effiziente Kommunikation zwischen Host und Anlage. Er umfasst ein allgemeines Set an Verhaltensweisen und Kommunikationsmöglichkeiten von Anlagen, die Halbleiterfabriken benötigen, inklusive von Zustandsmodellen.

Beschriebene Zustandsmodel

Er umfasst typische Verhaltensweisen und Kommunikationsmöglichkeiten von Anlagen, die Halbleiterfabriken benötigen, inklusive Zustandsmodellenle:

• Kommunikationszustandsmodell (Communication State Model): Definiert das Verhalten der Anlage in Abhängigkeit zum Verbindungsstatus mit dem Host
• Steuerungszustandsmodell (Control State Model):  Statusmodell regelt Zugriffsrechte für Operator und Host in Abhängigkeit vom Status (Online-Remote/Online-Local/Offline)
• Prozessstatusmodel der Anlage (Equipment Processing State Model): Definiert Processing States (z.B. “Idle”, “Executing” oder “Pause”) und beschreibt das jeweilige Anlagenverhalten

Weiter Statusmodelle sind Spooling oder Limits Monitoring.

Beispiele für Funktionalitäten:

• Remote-Steuerung: Kommandos vom Fabhost zur Prozesssteuerung und Materialbewegung
• Variablen-Typen: Definition von Konstanten (z.B. Equipment-Konstanten, Variablen als Basisvariablentypen, die vom Host angefordert werden können
• Process Program Management (Rezepte): Transfer von Anlageninstruktionen (genannt „Recipes“) zwischen Host und Produktionsanlage
• Materialbewegungen: Materialtransfer zwischen Anlagen, Bufferstationen oder Lagereinheiten, ausgeführt durch Mitarbeiter der Produktion, AGVs, Robotern, Tracks oder fest installierte Materialhandlingsysteme, inklusive Meldung über Eintreffen und Entfernen von Materialien an den Host. 
• Datensammlung: Verschiedene Optionen, um als Host Informationen und Daten zu erhalten
• Alarm Management: Fähigkeit des Equipments, um den Host über Alarmmeldungen hinsichtlich auftretender Alarme, deren Freigabe oder Löschung zu informieren

Für diese Funktionalitäten nutzt GEM die zuvor im SEMI E5 Standard (SECS-II) spezifizierten Messages, Streams und Functions. Weiterhin fordert der SECS/GEM Standard, dass Maschinen- und Anlagenbauer im Halbleitermarkt eine GEM-Dokumentation, die die Messages und eine Erklärung über die Konformität (Compliance Statement) beinhalten.