Dies ist der grundlegende Standard für eine effiziente Kommunikation zwischen Host und Anlage. Er umfasst ein allgemeines Set an Verhaltensweisen und Kommunikationsmöglichkeiten von Anlagen, die Halbleiterfabriken benötigen, inklusive von Zustandsmodellen:
- Kommunikationszustandsmodell (Communication State Model): Definiert das Verhalten der Anlage in Abhängigkeit zum Verbindungsstatus mit dem Host
- Steuerungszustandsmodell (Control State Model): Statusmodell regelt Zugriffsrechte für Operator und Host in Abhängigkeit vom Status (Online-Remote/Online-Local/Offline)
- Prozessstatusmodel der Anlage (Equipment Processing State Model): Definiert Processing States (z.B. “Idle”, “Executing” oder “Pause”) und beschreibt das jeweilige Anlagenverhalten
Weitere Statusmodelle sind Spooling oder Limits Monitoring.
Beispiele für Funktionalitäten:
- Remote-Steuerung: Der Fabhost (MES) kann über Kommandos Prozess- und Produktionssteuerung anstoßen und erhält Feedback über Ergebnisse von Kommandos oder Ereignisse.
- Parametrisierung: Der Fabhost (MES) kann über sogenannte Equipment-Konstanten die Anlage parametrisieren.
- Daten: Der Fabhost (MES) kann nicht-transiente Daten immer abfragen, wenn es notwendig ist oder erhält transiente Daten mit Ereignissen, wenn diese Daten verknüpft sind. Der Fabhost kann Daten mit Ereignissen verknüpfen.
- Process Program Management (Rezepte): Transfer von Anlageninstruktionen (genannt „Recipes“) zwischen Host und Produktionsanlage
- Materialbewegungen: Dem Fabhost werden Materialtransfers zwischen Anlagen, Buffer-Stationen oder Lagereinheiten gemeldet, inkl. Meldung über das Eintreffen oder Entfernen von Materialien. Die Materialtransfers werden durch Mitarbeiter der Produktion, AGVs, Roboter, Tracks oder fest installierte Materialhandlingsysteme ausgeführt.
- Datensammlung: Verschiedene Optionen, um als Host Informationen und Daten zu erhalten. Sowohl ereignisgesteuerte als auch zeitgesteuerte Umsetzungen sind möglich.
- Alarm Management: Fähigkeit des Equipments, um den Host über Alarmmeldungen hinsichtlich auftretender Alarme, deren Freigabe oder Löschung zu informieren
Für diese Funktionalitäten nutzt GEM die zuvor im SEMI E5 Standard (SECS-II) spezifizierten Messages, Streams und Functions. Weiterhin fordert der SECS/GEM Standard, dass Maschinen- und Anlagenbauer im Halbleitermarkt eine GEM-Dokumentation bereitstellen, die die Messages und eine Erklärung über die Konformität (Compliance Statement) beinhalten.