SEMI E30 – GEM (Generic Equipment Model)

Dies ist der grundlegende Standard für eine effiziente Kommunikation zwischen Host und Anlage. Er umfasst ein allgemeines Set an Verhaltensweisen und Kommunikationsmöglichkeiten von Anlagen, die Halbleiterfabriken benötigen, inklusive von Zustandsmodellen:

• Kommunikationszustandsmodell (Communication State Model): Definiert das Verhalten der Anlage in Abhängigkeit zum Verbindungsstatus mit dem Host
• Steuerungszustandsmodell (Control State Model):  Statusmodell regelt Zugriffsrechte für Operator und Host in Abhängigkeit vom Status (Online-Remote/Online-Local/Offline)
• Prozessstatusmodel der Anlage (Equipment Processing State Model): Definiert Processing States (z.B. “Idle”, “Executing” oder “Pause”) und beschreibt das jeweilige Anlagenverhalten

Weitere Statusmodelle sind Spooling oder Limits Monitoring.

Beispiele für Funktionalitäten:

• Remote-Steuerung: Der Fabhost (MES) kann über Kommandos Prozess- und Produktionssteuerung anstoßen und erhält Feedback über Ergebnisse von Kommandos oder Ereignisse.
• Parametrisierung: Der Fabhost (MES) kann über sogenannte Equipment-Konstanten die Anlage parametrisieren. 
• Daten: Der Fabhost (MES) kann nicht-transiente Daten immer abfragen, wenn es notwendig ist oder erhält transiente Daten mit Ereignissen, wenn diese Daten verknüpft sind. Der Fabhost kann Daten mit Ereignissen verknüpfen.
• Process Program Management (Rezepte): Transfer von Anlageninstruktionen (genannt „Recipes“) zwischen Host und Produktionsanlage
• Materialbewegungen: Dem Fabhost werden Materialtransfers zwischen Anlagen, Buffer-Stationen oder Lagereinheiten gemeldet, inkl. Meldung über das Eintreffen oder Entfernen von Materialien. Die Materialtransfers werden durch Mitarbeiter der Produktion, AGVs, Roboter, Tracks oder fest installierte Materialhandlingsysteme ausgeführt. 
• Datensammlung: Verschiedene Optionen, um als Host Informationen und Daten zu erhalten. Sowohl ereignisgesteuerte als auch zeitgesteuerte Umsetzungen sind möglich.
• Alarm Management: Fähigkeit des Equipments, um den Host über Alarmmeldungen hinsichtlich auftretender Alarme, deren Freigabe oder Löschung zu informieren

Für diese Funktionalitäten nutzt GEM die zuvor im SEMI E5 Standard (SECS-II) spezifizierten Messages, Streams und Functions. Weiterhin fordert der SECS/GEM Standard, dass Maschinen- und Anlagenbauer im Halbleitermarkt eine GEM-Dokumentation bereitstellen, die die Messages und eine Erklärung über die Konformität (Compliance Statement) beinhalten.