SEMI E90
Specification for Substrate Tracking
Das Substratmanagement kann auch als Materialmanagement verstanden werden. Nachdem die Substrate erfolgreich zur Anlage transportiert wurden, müssen sie innerhalb der Anlage nachverfolgt werden. Dazu gehören auch die Wege, die sie auf ihrem Weg durch die Anlage nehmen.
Die Substratverfolgung ist auf der Host-Seite angesiedelt, die Anlagensteuerung ist dafür verantwortlich, Informationen über die Substrate bereitzustellen, während sie sich durch die Produktionsanlage bewegen. Diese Norm definiert die Palette der von der Anlage unterstützten Informationsdienste und erläutert die Konzepte und das Verhalten von Substraten, Substratpositionen, Chargen und Chargenpositionen. Anhand der Informationen über einzelne Substrate kann der Host deren Verarbeitungsstatus bestimmen.