SEMI E125
Specification for Equipment Self Description (EqSD)
Neben dem selbstbeschreibenden Common Equipment Model (CEM), das es dem Host ermöglicht, die Herkunft der Daten eindeutig zu bestimmen und dadurch beispielsweise die Fehlersuche zu beschleunigen, bietet SEMI E125 den Maschinenbauern die Möglichkeit, weitere Daten zur Verfügung zu stellen: Variablen (Parameter), Ausnahmen (Alarme) und wichtige Ereignisse in Bezug auf jede einzelne Komponente in der Anlage, unabhängig davon, ob sie physikalisch, logisch, kundenspezifisch oder innerhalb eines GEM300-Standards (SEMI E40, SEMI E87, SEMI E90, SEMI E94) definiert sind. SEMI E125 bezieht sich nur auf statische Informationen.