SEMI E134
Specification for Data Collection Management
Auf der Grundlage der Selbstbeschreibung des Equipments und des Common Equipment Model (CEM) ist es dem EDA-Client möglich, die spezifischen Daten von Interesse zu abonnieren. Zu diesem Zweck gibt dieser Standard Hinweise zur Einrichtung und Verwaltung von Datensammelplänen (Data Collection Plans, DCPs) ohne Beeinträchtigung der Geräteleistung. Durch die Erstellung von DCPs können EDA-Clients Trace-Daten oder ereignisbasierte Daten erhalten, beispielsweise Daten, die in direktem Zusammenhang mit einem auftretenden Alarm stehen. Anlagendaten können kontinuierlich gesammelt oder nach Bedarf angefordert werden.
Bitte beachten Sie, dass EDA ("Interface A") ein separater Kanal ist, der parallel zu einem SECS-Kommunikationskanal existiert, der für SECS/GEM und GEM300 verwendet wird. EDA erfordert nicht, SECS/GEM-konforme Nachrichten zu verwenden (SEMI E5 und E30).