SEMI E157
Specification for Module Process Tracking
SEMI E157 spielt eine entscheidende Rolle bei der Unterstützung flexibler Fertigung, indem es detaillierte Einblicke in die Abläufe auf Sub-Prozessebene innerhalb komplexer Anlagen ermöglicht. Der Standard ermöglicht es, den Status von Wafern und Modulen genau zu verfolgen. So können Ausfallzeiten verringert und ein hoher Durchsatz erreicht werden. Er gilt sowohl für einzelne Anlagen als auch für integrierte Anlagenmodule.
Der Standard legt fest, wie prozessbezogene Daten während einer Rezeptausführung von der Anlage an den Host gemeldet werden. Die Genauigkeit der gemeldeten Daten kann bis zu jedem einzelnen Rezeptschritt hinunterreichen. Prozessdaten mit relevanten Kontextinformationen müssen prozessmodulspezifische Datenparameter unterstützen.
Beispiele für relevante Kontextdaten innerhalb der Prozesskammer, die gemeldet werden können:
- Aktuelles Rezept und Rezeptschritt
- Rezeptparameterwerte
- Sensor-Rohdaten
Indem der Fokus auf kritische Prozessschritte gelegt wird, kann die Menge der kommunizierten Daten reduziert werden. Gleichzeitig bleiben die Informationen aussagekräftig genug, um Prozesse zu analysieren und gezielt anzupassen. Das kann die Produktqualität und den Durchsatz verbessern.
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