SEMI E172
Specification for SECS Equipment Data Dictionary (SEDD)
Dieser Standard bietet Richtlinien, um Schlüsselelemente einer SECS-II Schnittstelle einheitlich in einem XML-Dokument zu definieren. Diese Art von Dokumentation werden als „SECS Equipment Data Dictionary (SEDD)“ bezeichnet. SEMI E172 stellt ein XSD-Schema zur Verfügung, das die Dokumentenstruktur für die folgenden Informationen definiert:
- Equipment Meta-Informationen: z.B. Equipment Modellnummer, Equipment Identifikationsnummer, Anlagenhersteller
SECS/GEM-Funktionalitäten:
- Statusvariablen
- Datenvariablen
- Variablenformate
- Equipment-Konstanten
- Collection Events
- Alarme
- Parameter von Rezeptvariablen (Tuning-Parameter)
- Unterstützte Streamfunctions und SEMI-Standards mit den entsprechenden Compliance Statements
Die Dokumentation soll sowohl für Menschen verständlich sein, als auch von Softwareanwendungen genutzt werden können. Integrationsteams auf Seiten der Fabrikbetreiber dient diese Dokumentation als Grundlage für ihre Software, die mit dem Equipment kommuniziert. Durch die einheitliche Darstellung der Daten wird der Softwareentwicklungsprozess klarer. Außerdem wird die Integration des Equipments schneller und einfacher.
Diese Dokumentation ergänzt die bestehende Beschreibung der SECS/GEM-, GEM300- oder EDA-Schnittstellen. Sie geht also über den Standardrahmen hinaus und bietet zusätzliche Informationen.