SEMI E167
Specification for Equipment Energy Saving Mode Communications (EESM)
Dieser Standard bietet Konzepte und Nachrichtendienste zur Unterstützung der Kommunikation für einen geringeren Stromverbrauch der Produktionsanlagen. Dies umfasst nicht nur den Ruhezustand (IDLE), sondern auch den Schlafmodus (Sleep Mode). Die Spezifikation basiert auf dem SECS-II-Messaging. SEMI E167 gibt keine Empfehlung für ein bestimmtes Kommunikationsprotokoll.
Sie definiert das Kommunikationsverhalten im Energiesparmodus als Zustandsmodell und spezifiziert die Nachrichtendienste und -inhalte, die für die Kommunikation zwischen Fabrik und Anlage wichtig sind, um den Energiesparmodus der Anlage zu verwalten.