SEMI E94
Specification for Control Job Management
Die zweite wichtige Komponente des GEM300 Job Management ist das Control Job Management. Während Process Job (PJ) die eigentliche Materialverarbeitung beschreiben, ermöglichen Control Jobs dem Host, wiederkehrende Process Jobs oder komplexe Verarbeitungsszenarien zu verwalten.
Durch die Unterstützung des Control Job Managements bietet das Gerät einen Service für die Fabrik, der die fortgeschrittene Automatisierung der Fabrik fördert.
Control Jobs können aus mehreren Process Jobs bestehen, die in einer bestimmten Reihenfolge geplant werden können, oder der Verlauf der Process Jobs kann innerhalb des laufenden Control Job optimiert werden. Nach Abschluss eines Control Jobs kann die Anlage mit dem nächsten Auftrag in der Warteschlange fortfahren. Es ist auch möglich, mehrere Control Jobs gleichzeitig laufen zu lassen. Auf Wunsch wird dieser neue Control Job gestartet, sobald das benötigte Material eingetroffen ist, oder er kann vom Host mit den Befehlen Start, Stopp, Abbruch, Pause oder Wiederaufnahme initiiert und gesteuert werden. Es ist auch möglich, dass der Fab-Host die Reihenfolge der Warteschlangen ändert, um neue Prioritäten zu erfüllen.
Basierend auf den Verarbeitungsergebnissen ermöglichen Control Jobs regelbasierte Routing-Änderungen der verarbeiteten Materialien, z. B. Weiterleitung zum nächsten Verarbeitungsschritt, Wiederholung des aktuellen Schritts oder Routing für die Verschrottung.