SEMI E84
Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface
Dieser Standard beschreibt die automatisierte Carrier-Übergabe zwischen einem automatisierten Transportsystem (z.B. AMHS, AGV, RGV oder OHT) der Fab an den Loadport der Anlage. Die Kommunikation erfolgt über einen optischen, parallelen Input/Output (PIO).
Die Spezifikation enthält:
- Definition der PIO-Signal – zum Beispiel, ob die Anlage bereit für die Carrier-Übergabe ist, welcher Loadport für den Carrier Handoff genutzt werden soll, ob gerade ein Carrier Handoff stattfindet oder ein Carrier Handoff abgeschlossen ist.
- Beschreibung der Abfolge des Carrier Handoffs mit klaren Diagrammen für unterschiedliche Szenarien und Beispielen.
- Hinweise zu möglichen Fehlern, mit Erklärungen, wie die erkannt und behoben werden.
- Beschreibung der physischen Schnittstelle, einschließlich der Steckerbelegung.
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Roman Olwig
Senior Sales Manager
Konnektivität, Integration und Bahnautomation