SEMI E132
Specification for Equipment Client Authentication and Authorization
Dieser Standard beschreibt, wie eine sichere EDA-Kommunikation (Equipment Data Acquisition) zwischen der Halbleiterproduktionsanlage und autorisierten Clients hergestellt werden kann. Authentifizierung und Autorisierung sind in diesem Fall entscheidend. SEMI E132 bietet grundlegende Richtlinien zum Schutz sensibler Daten und zur Gewährleistung einer sicheren Produktion.
Sie beschreibt einen Client-Authentifizierungsmechanismus, der sicherstellt, dass nur autorisierte Benutzer Zugriff auf die Daten der Produktionsanlagen erhalten. Zusätzlich wird ein flexibles Autorisierungsschema bereitgestellt, das es Maschinenherstellern (OEMs) ermöglicht, den Zugriff kategorisiert in verschiedenen Rollen mit spezifischen Rechten zu verwalten. Auch das Szenario gleichzeitiger Zugriffsanfragen durch mehrere Clients ist etabliert.
Bitte beachten Sie, dass EDA ("Interface A") ein separater Kanal ist, der parallel zu einem SECS-Kommunikationskanal existiert, der für SECS/GEM und GEM300 verwendet wird. EDA erfordert nicht, SECS/GEM-konforme Nachrichten zu verwenden (SEMI E5 und E30).