SEMI E128
Specification for XML Message Structures
Dieser Standard bietet XML-Nachrichtenstrukturen zur Kodierung von Nachrichtenkopfdaten und zum Austausch von EDA-Daten zwischen Anlagen und EDA-Clients wie Fab-Hosts. Er beschreibt die Struktur für Datenabfragen durch den Host und die erwartete Struktur der Antwort des Equipments.
Bitte beachten Sie, dass EDA ("Interface A") ein separater Kanal ist, der parallel zu einem SECS-Kommunikationskanal existiert, der für SECS/GEM und GEM300 verwendet wird. EDA erfordert nicht, SECS/GEM-konforme Nachrichten zu verwenden (SEMI E5 und E30).