SEMI E5 - SECS-II

Specification for SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)

Auf der Grundlage des in SEMI E4 oder SEMI E37 beschriebenen Kommunikationsprotokolls können Messages zwischen den Hosts der Fabrik und der Anlage ausgetauscht werden. Diese Messages, die auch als "Functions" bezeichnet werden, sind in Aktivitätsgruppen kategorisiert, die "Streams" genannt werden, z. B. Kommunikation, Ausgabe von Daten, Jobverwaltung oder Rezepturverwaltung. In diesem Standard werden die Struktur der Messages, die verwendeten Datenelemente, erwartete Antworten und mögliche Ausnahmeszenarien genau festgelegt. Dies ermöglicht es, dass die Host- und die Anlagenseite mit nur minimalen Kenntnissen voneinander aufgebaut werden können. Da SEMI E5 die grundlegenden SECS-II-Messages und Datenelemente definiert, bauen die meisten weiteren SEMI-Normen darauf auf. Abhängig von den Funktionen, die im konkreten Projekt erfüllt werden sollen, können die passenden SECS-II-Messages ausgewählt und verwendet werden. Custom Stream Functions können verwendet werden, um die Anforderungen von Fabriken jenseits von SEMI E5 zu erfüllen.