SECS/GEM-Schnittstelle FabLink® im Backend der Halbleiterindustrie für SYSTRONIC

Die SYSTRONIC Produktionstechnologie GmbH & Co. KG ist seit über 25 Jahren Hersteller von Anlagentechnik zur Schablonenreinigung, Siebreinigung, Lotrahmen- und Kondensatfallenreinigung, sowie den passenden Reinigungsmedien. 

Der Einsatz einer Reinigungsanlage der SYSTRONIC Produktionstechnologie GmbH & Co. KG in einer Halbleiterfabrik erforderte eine SECS/GEM-Schnittstelle zur Anbindung an das Fertigungssteuerungssystem (MES). Mit FabLink® lieferte Kontron AIS GmbH ein etabliertes Produkt zur Anlagenintegration mit mehr als 14.000 Referenzen. Sie stand dem Kunden mit erfahrenen Expert*innen zur Seite, integrierte die SECS/GEM-Schnittstellenkomponente und befähigte den Kunden Folgeprojekte mit SECS/GEM-Anbindungen erfolgreich selbst umzusetzen.

Bevor sich Betreiber einer Halbleiterfabrik für einen Lieferanten aus dem Maschinen- und Anlagenbau entscheiden, findet eine detaillierte und aufwändige Anforderungsanalyse mit einem etwa 100-seitigen Lastenheft und über 300 Requirements statt. Kontron AIS unterstützte SYSTRONIC auf diesem Weg, half bei der Bearbeitung des Lastenheftes und klärte die relevanten Details mit dem Betreiber der Halbleiterfertigung. 

In der Spezifikationsphase wird genau erarbeitet, wie die Anlage funktionieren soll und welche Prozesse umgesetzt werden. Die in der Halbleiterindustrie relevanten SEMI-Standards sind für den Frontend-Bereich detailliert beschrieben. Ihre Anwendung im Backend-Bereich ist aktuell noch in der „Findungsphase“. Daher ist hier eine fachlich akkurate Interpretation notwendig. Ein Projektziel war, dass der Anlagenbauer nach der ersten Anbindung in der Lage ist, SECS/GEM-Folgeprojekte selbständig zu konfigurieren. 

Das SYSTRONIC Team wurde durch Kontron AIS zu SEMI-Normen geschult und mit der Konfiguration von FabLink® und dem FabLink®Designer vertraut gemacht. In einem gemeinsamen Workshop wurden alle Datenpunkte, der Materialdurchlauf und die Statusmodelle der Kundenanlagen projektspezifisch geklärt. Kontron AIS lieferte das GEM-Manual, damit der Endkunde die Reinigungsanlage in die Produktionssteuerungssysteme des MES integrieren konnte. Darüber hinaus leistete Kontron AIS auch kurzfristig benötigte Unterstützung bei der Programmierung der Siemens SPS. Im Zuge der Inbetriebnahme bei SYSTRONIC wurden Abläufe und Szenarien mit einem eigenen Testsystem aus Sicht des Endkunden überprüft. Die Inbetriebnahme beim Endkunden in der Fabrik wird damit wesentlich verkürzt.

SEMI-konforme Schnittstellen zur Anlagenintegration treffen auf wachsenden Bedarf im Backend-Bereich der Halbleiterfertigung. Immer mehr Fabrikbetreiber fordern eine GEM300-Anbindung an ihr Hostsystem, um von der Effizienzsteigerung in einer durchgängig automatisierten Halbleiterfabrik zu profitieren und die Transparenz und Nachverfolgbarkeit zu erhöhen, indem Produktions- und Anlagendaten Nutzergerecht und schnell über das Hostsystem zugänglich sind. 

Darüber hinaus fordert der EU Data Act ab Ende 2023, dass die Anlagen erhobene Daten zur Verfügung stellen, die auch durch Dritt-Systeme genutzt werden können. Dies kann zwar auch durch eine USB-Schnittstelle erfolgen, einen klaren Mehrwert für den Kunden bietet hier jedoch die direkte und SEMI-konforme Anbindung an den Host, um Prozesse live überwachen zu können und die Daten effektiv zur Qualitätssicherung und Predictive Maintenance zu nutzen. 

Wenn Sie mehr über die SECS/GEM-Schnittstelle für SYSTRONIC erfahren möchten, freuen wir uns auf Ihre Nachricht.