SEMI E160
Specification for Communication of Data Quality
Damit Anlagendaten zur Verbesserung der Produktivität genutzt werden können, muss ihre Qualität gesichert sein.
Der Standard E160 unterstützt:
- die Definition von Metriken, um die Qualität der von Halbleiteranlagen erzeugten Daten zu bewerten
- die Kommunikation der Qualität ausgewählter Datenparameter
- die Festlegung einer messbaren Datenqualität, um qualitativ hochwertigen Service und Applicationperformance für Anlagenlieferanten, Chiphersteller und Anbieter von Anlagensteuerungen sicherzustellen
- die Bereitstellung von Methoden zur Sicherstellung der Konformität bei der Berichterstattung über die Datenqualität
Die Datenqualität betrifft alle Informationen, die über elektronische Schnittstellen von Halbleiterfertigungsanlagen abgerufen werden können. Metriken zur Datenqualität bieten eine Möglichkeit, bestimmte Datenqualitätsmerkmale oder -elemente zu quantifizieren. Dadurch können diese Werte besser kommuniziert und überprüft werden. Der Standard definiert Metriken, die zu den Aspekten und Merkmalen der Datenqualität passen, wie sie in SEMI E151 – Guide for Understanding Data Quality beschrieben sind.
Da es sich bei der Datenqualität um ein umfassendes Thema handelt, wird auf weitere SEMI-Standards verwiesen:
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