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SEMI E120 – Specification for the Common Equipment Model (CEM)
Zurück zur Übersicht der SEMI-Standards Dieser EDA-Standard (Equipment Data Acquisition) bietet Objektmodellregeln für eine konsistente Struktur aller Gerätekomponenten, die eine effiziente Komm
SEMI E125 – Specification for Equipment Self Description (EqSD)
Zurück zur Übersicht der SEMI-Standards Neben dem selbstbeschreibenden Common Equipment Model (CEM), das es dem Host ermöglicht, die Herkunft der Daten eindeutig zu bestimmen und dadurch beispie
SEMI E128 – Specification for XML Message Structures
Zurück zur Übersicht der SEMI-Standards Dieser Standard bietet XML-Nachrichtenstrukturen zur Kodierung von Nachrichtenkopfdaten und zum Austausch von EDA-Daten zwischen Anlagen und EDA-Clients w
SEMI E132 – Specification for Equipment Client Authentication and Authorization
Zurück zur Übersicht der SEMI-Standards Dieser Standard beschreibt, wie eine sichere EDA-Kommunikation (Equipment Data Acquisition) zwischen der Halbleiterproduktionsanlage und autorisierten Cli
SEMI E134 – Specification for Data Collection Management
Zurück zur Übersicht der SEMI-Standards Auf der Grundlage der Selbstbeschreibung des Equipments und des Common Equipment Model (CEM) ist es dem EDA-Client möglich, die spezifischen Daten von Int
SEMI E138 – Specification for XML Semiconductor Common Components
Zurück zur Übersicht der SEMI-Standards Dieser Standard definiert gemeinsame XML-Elemente, die in mehreren Standards ähnlich sind. Dazu gehören Errors, Data Types, Data Value Types und Units. Er
SEMI E145 – Classification for Measurement Unit Symbols in XML
Zurück zur Übersicht der SEMI-Standards SEMI E145 definiert XML-Strukturen für Messeinheiten und Messeinheitensymbole und beschreibt zusätzlich, wie benutzerdefinierte Symbole hinzugefügt werden
SEMI E167 – Specification for Equipment Energy Saving Mode Communications (EESM)
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SEMI E172 – Specification for SECS Equipment Data Dictionary (SEDD)
Dieser Standard bietet Richtlinien, um Schlüsselelemente einer SECS-II Schnittstelle einheitlich in einem XML-Dokument zu definieren. Diese Art von Dokumentation werden als „SECS Equipment Data Dictio
SEMI E187 – Specification for Cybersecurity of Fab Equipment
Zurück zur Übersicht der SEMI-Standards SEMI E187 enthält Anforderungen an die Cybersicherheit für sichere Halbleiterfertigungsanlagen. Die Maßnahmen betreffen Betriebssysteme (z. B. durch die a