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SEMI E167 – Specification for Equipment Energy Saving Mode Communications (EESM)
Zurück zur Übersicht der SEMI-Standards ToolCommander® Das offene Softwareframework für Anlagensteuerungen und Visualisierung FabLink® Die SEMI-konforme SECS/GEM-, GEM300-, EDA-, PV2- und SEMI
SEMI E187 – Specification for Cybersecurity of Fab Equipment
Zurück zur Übersicht der SEMI-Standards SEMI E187 enthält Anforderungen an die Cybersicherheit für sichere Halbleiterfertigungsanlagen. Die Maßnahmen betreffen Betriebssysteme (z. B. durch die a
SEMI E188 – Specification for Malware Free Equipment Integration
Zurück zur Übersicht der SEMI-Standards Diese Norm legt Sicherheitsanforderungen fest, um die Integrität von Anlagen zu gewährleisten und die Einführung und Verbreitung von Schadsoftware während
SEMI E30 – Specification for the Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)
Dies ist der grundlegende Standard für eine effiziente Kommunikation zwischen Host und Anlage. Er umfasst ein allgemeines Set an Verhaltensweisen und Kommunikationsmöglichkeiten von Anlagen, die Halbl
SEMI E37 – Specification for High-Speed SECS Message Services (HSMS) Generic Services
Dieser Standard definiert ein Ethernet (TCP/IP) Kommunikationshandshake und ein Übertragungsprotokoll zum Austausch von SECS-II-Messages. Die TCP/IP-Verbindung wird immer dann verwendet, wenn eine sch
SEMI E39 – Specification for Object Services: Concepts, Behavior, and Services
Zurück zur Übersicht der SEMI-Standards Der Object Services Standard (OSS) beschreibt Grundlagen für Objekte, die in GEM300-Halbleiterfertigungen verwendet werden. Er stellt allgemeine Funktiona
SEMI E4 – Specification for SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer (SECS-I)
ToolCommander® Das offene Softwareframework für Anlagensteuerungen und Visualisierung Zurück zur Übersicht der SEMI-Standards FabLink® Die SEMI-konforme SECS/GEM-, GEM300-, EDA-, PV2- und SEMI
SEMI E40 – Specification for Processing Management
Zurück zur Übersicht der SEMI-Standards Dieser SEMI-Standard ist für die automatisierte Materialverarbeitung mit Process Jobs relevant. Process Jobs definieren, welches Material von der Anlage v
SEMI E5 – Specification for SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)
Zurück zur Übersicht der SEMI-Standards Auf der Grundlage des in SEMI E4 oder SEMI E37 beschriebenen Kommunikationsprotokolls können Messages zwischen den Hosts der Fabrik und der Anlage ausgeta
SEMI E87 – Specification for Carrier Management (CMS)
Zurück zur Übersicht der SEMI-Standards Automatisiertes Materialmanagement ist in einer vollautomatisierten Fertigung von entscheidender Bedeutung. Diese Norm beschreibt die Kommunikation zwisch