SEMI E127
Specification for Integrated Measurement Module Communications: Concepts, Behavior, and Services (IMMC)
Der Standard SEMI E127 wurde 2003 veröffentlicht. Die letzte Version stammt aus dem Jahr 2008 und ist inzwischen als inaktiv gekennzeichnet.
Das Ziel dieses Standards war es, Mess- und Inspektionsfunktionen direkt in Produktionsanlagen zu integrieren. Dadurch sollte der Transfer von Substraten oder Wafern zwischen Produktions- und Testgeräten reduziert oder ganz vermieden werden. Geplant war die Einführung eines integrierten Messmoduls mit einer standardisierten Schnittstelle.
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Roman Olwig
Senior Sales Manager
Konnektivität, Integration und Bahnautomation