SEMI E95
Specification for Human Interface for Semiconductor Manufacturing Equipment
Diese Norm befasst sich mit Standards für die Benutzerfreundlichkeit und Bedienbarkeit von Visualisierungen zur Anlagensteuerung. Sie zielt auf Bedienungskomfort ab, indem sie z.B. eine durchgängige Touch-Bedienung auf allen GUI-Ebenen und Dialogen vorsieht und gleichzeitig Bediensicherheit und Übersichtlichkeit mit Elementen, die jederzeit vorhanden sein sollen, wie z.B. die Anzeige von Alarmsignalen, bietet.