SEMI E142
Specification for Substrate Mapping
Dieser Standard beschreibt, wie Host und Anlage Substrate Maps über eine SECS/GEM-Schnittstelle austauschen. Dabei kommen übliche GEM-Event-Reports und Stream-14-Nachrichten (SEMI E39 Object Requests) zum Einsatz.
Manche Anlagen benötigen eine Substrate Map, bevor ein Prozess starten kann. Andere Anlagen erstellen diese Map während des Betriebs. Sie bieten Informationen zu Prozess- und Analyseergebnissen für einzelne Stellen (z.B. Elemente, Zellen, Chips) auf dem Substrat. Nach SEMI E142 gibt es festgelegte Typen von Substraten: Wafer, Frames, Strips und Trays.
Der Standard bezieht sich auf Assembly- und Packaging-Prozesse. Außerdem umfasst er auch den Test von Halbleiterelementen.
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Roman Olwig
Senior Sales Manager
Konnektivität, Integration und Bahnautomation