SEMI E4 – SECS-I

Der SEMI E4-Standard definiert eine serielle Kommunikation über RS-232. Obwohl er ursprünglich für die Host-to-Equipment-Kommunikation entwickelt wurde, wird er häufig innerhalb der Anlagen-Kommunikation verwendet: Steuerungssoftware kommuniziert mit einzelnen Hardware-Komponenten über deren SECS -I-Schnittstelle. Dieser Standard beschreibt die Verbindungs- und Transaktionsprozeduren sowie den Umgang mit Kommunikationsfehlern. Nachdem diese Verbindung aufgebaut ist, können SECS-II-Messages ausgetauscht werden. Die Struktur und der Inhalt dieser Messages sind in SEMI E5 (SECS-II) beschrieben.