Innovative Wafer-Inspektion mit ToolCommander® und FabLink®
Die MueTec Automatisierte Mikroskopie und Messtechnik GmbH vertraut auf unser Know-how zur Anlagenintegration und -steuerung in der Halbleiterindustrie
Auf der ganzen Welt werden Chips für die Elektronikproduktion benötigt. Diese werden auf Wafern in hochkomplexen Schritten prozessiert. Auf deren optische Vermessung und Inspektion hat sich die MueTec GmbH spezialisiert. Für zwei neue Anlagentypen in einer neuen Wafer-Fabrik setzt MueTec nun FabLink® und ToolCommander® zur Anlagenintegration und -steuerung ein.
MueTec suchte einen europaweit agierenden Partner mit Know-how in der Halbleiterindustrie und fand in unserer Konnektivitätslösung FabLink® die perfekte Antwort mit GEM300-Konformität und mit unserem Softwareframework ToolCommander® die ideale Steuerungssoftware für die beiden neuen Anlagentypen Argos und DaVinci. Neben den hohen Anforderungen an die Prozessgeschwindigkeit und Sicherheit musste die gesamte Integration und Steuerung den komplexen SEMI-Standards entsprechen und die geforderten GEM300- sowie SECS/GEM-Anforderungen erfüllen. Vom Lastenheft bis zur Inbetriebnahme erhielt MueTec von uns dafür einen kompletten Service. Gleichzeitig unterstützen wir den Halbleiterhersteller als Endkunden von MueTec mit weltweitem Service und Support.