RECIF Technologies entwirft, fertigt, vertreibt und wartet Roboterhandhabungsgeräte für hochsensible Umgebungen in der Halbleiterindustrie.
Kontron AIS ist ein führendes Automatisierungsunternehmen und beliefert mehrere OEM mit hochmodernen Steuerungs- und Automatisierungslösungen für die Halbleiterindustrie sowie für viele andere Branchen.
Im Rahmen des Gemeinschaftsprojekts NGC450 (Entwicklung einer 450-mm-Wafer-Handling-Plattform zur Unterstützung der 450-mm-Umstellung in Europa) hat RECIF ein atmosphärisches Equipment-Front-End-Modul (EFEM) entwickelt, das von einer von AIS entwickelten Cluster-Werkzeugsteuerung (ToolCommander®) gesteuert wird.
Die integrierte Wafer-Handling-Plattform wurde im September 2014 erfolgreich bei imec installiert. Das EFEM von RECIF wurde erfolgreich in die AIS ToolCommander®-Lösung integriert. Damit wurde nachgewiesen, dass ein 450-mm-Cluster bei einem bestimmten Prozess den Durchsatz eines entsprechenden 300-mm-Clusters erreichen kann.
Heute bietet dieses Projekt dank der RECIF/AIS-Integration eine schlüsselfertige Lösung für die 450mm/300mm-Automatisierung und das automatische Be- und Entladen von Wafern in Prozess- oder Messkammern in atmosphärischen oder Vakuumumgebungen.
"RECIF Technologies ist sehr erfreut über die 3-jährige Zusammenarbeit mit AIS Automation. Während des gesamten Projekts haben unsere Teams ihre Fähigkeit bewiesen, zusammenzuarbeiten, um unser gemeinsames Ziel zu erreichen. Die Software-Integration ist ein echter Erfolg und zeigt, dass wir in der Lage sind, gemeinsam den OEM-Markt 450 / 300mm weiter voranzutreiben."
Alain Jarre, Vorsitzender CEO
Für weitere Informationen:
E-Mail: Contact@recif.com
Website: www.reciftech.com
"Die Zusammenarbeit zwischen AIS Automation und RECIF Technologies ist ein eindrucksvoller Beweis dafür, dass unsere Unternehmen gemeinsam eine moderne Wafer-Handling-Plattform mit neuesten Software-Technologien anbieten können. Wir freuen uns darauf, den OEM-Markt mit einer visionären Lösung zu unterstützen."
Dirk Sauer, Vorstandsvorsitzender CEO
Für weitere Informationen:
E-Mail: support@kontron-ais.com
Website: www.kontron-ais.com