Innovative Waferinspektion mit ToolCommander® und FabLink® für MueTec

Die Halbleiterbranche boomt. Auf der ganzen Welt werden Chips für die Elektronikproduktion benötigt, die auf Wafer in hochkomplexen Schritten prozessiert werden. 

Ein entscheidender Schritt ist dabei die Inspektion der Wafer. Da diese bis zum Ende des Produktionszykluses immer werthaltiger werden, ist eine konstante Überwachung der Produktion Pflicht. Hier kommt die MueTec GmbH ins Spiel, die auf die optische Vermessung und Inspektion von Wafern spezialisiert ist.

MueTec suchte einen europaweit agierenden Partner für das Steuerungs-Know-how ihrer Maschinen, der zudem flexibel und zeitnah Wünsche umsetzen konnte. Als etablierter und erfahrener Sparringpartner in der Halbleiterindustrie war die Kontron AIS GmbH die ideale Wahl. Der gute Zusammenhalt von Halbleiter-Endkunden z. B. im Silicon Saxony ermöglichte über Empfehlung dann die Partnerschaft von MueTec und Kontron AIS. 

Aufgabengebiete der Kontron AIS sollten unter anderem der Full-Service und die Betreuung im Projekt, eine Spezifikationsphase, die Softwareentwicklung inkl. Roll-Out und Tests sowie After Sales Services danach sein. Kontron AIS wurde somit bereits in der Planungsphase zur neuen Wafer-Fabrik hinzugezogen und das Projektteam freute sich auf die Zusammenarbeit mit MueTec.

Da Vinci wäre beeindruckt von der Maschine

Eine hohe Vermessungsdichte bei der Wafer-Produktion hat ebenfalls hohe Ansprüche an die Prozessgeschwindigkeit und Sicherheit. In immer kürzeren Taktzeiten müssen mehr Wafer prozessiert und inspiziert werden. Um diesen Anspruch im Markt gerecht zu werden, hat MueTec neue Anlagentypen designt. Mit der Argos- und DaVinci-Serie können in hoher Frequenz Wafer vermessen und inspiziert werden. 

Der Part von Kontron AIS bestand darin, eine Software zu entwickeln, die mit den hohen Frequenzen schritthalten und die internen Maschinenabläufe ausführen und steuern kann. Gleichzeitig musste die Anlagenserie mit einer Host-Schnittstelle ausgestattet werden, welche die SEMI 300 mm Standards erfüllt.

Eingespielte Abläufe im Projekt

Zum Projektstart wurde zunächst aus dem Lastenheft von MueTec und in Zusammenarbeit mit der Kontron AIS eine Spezifikation zur Softwareentwicklung erstellt. In ihr wurde festgehalten, dass für die Lösung das Softwareframework ToolCommander® als Steuerungssoftware zum Einsatz kommt und dass die Konnektivitätslösung FabLink® die Schnittstelle zum Host Interface ist. All dies muss den komplexen SEMI-Standards entsprechen und die geforderten GEM300- sowie SECS/GEM-Anforderungen erfüllen. Die Anlagensteuerung sollte darüber hinaus eine ansprechende Visualisierung erhalten. Dies wurde ebenfalls mit dem Softwareframework ToolCommander® realisiert und kundenspezifisch angepasst.

Nach Freigabe der gemeinsamen Spezifikation konnte die eigentliche Entwicklungsarbeit seitens Kontron AIS beginnen. MueTec stand jederzeit kompetent und zuverlässig als Kunde und Partner für Informationen zur Verfügung. Durch 30 Jahre Erfahrung im Bereich der Steuerungsentwicklung konnte Kontron AIS die spezifizierten Arbeitspakete in kooperativer Zusammenarbeit mit MueTec schnell erfüllen und in die Software integrieren. 

Ein Team, bestehend aus drei Softwareentwicklern, einem Tester sowie einem Softwarearchitekten aufseiten der Kontron AIS, setzte sich intensiv mit dem Projekt auseinander. Für die Qualitätssicherung wurde zudem auf Testautomatisierung gesetzt. Zum Abschluss wurde die Softwarelösung mit der Anlage bei MueTec in Betrieb genommen. 

Der bereitgestellte Installer von Kontron AIS erleichterte die Installation und Inbetriebnahme, so dass MueTec dabei nur noch im Bedarfsfall aus der Ferne unterstützt werden musste. Kontron AIS stand in der Abschlussphase jederzeit für Rückfragen zur Verfügung und die Hardwareintegration verlief problemlos via Remote Support.

Wenn Sie mehr über die Anlagensteuerung ToolCommander^® erfahren möchten, freuen wir uns auf Ihre Nachricht.