Referenzen / Success Stories

Der ToolCommander für Beneq Oy

Die erste ALD-Anlage (Atomlagenabscheidung) von Beneq wurde mit dem Kontron AIS-Steuerungsframework

ToolCommander® beim Endkunden in Betrieb genommen. Es wurde in der Beneq-Zentrale,

in Espoo (Finnland), vor getestet. Das Beschichtungssystem wird nun in China in einem Cluster für die OLED-Mikrodisplayproduktion eingesetzt.


Das Beneq-System besteht aus einer Heizung, einem Lastschloss, einem Transfermodul und einem Prozessmodul, das
von Beneq. Eine Besonderheit ist, dass Einzelwaferprozesse und Batchprozesse im System ausgeführt werden können. In
zusätzlich zur Gerätesteuerungslösung mit dem ToolCommander® Kontron AIS auch einen kundenspezifischen Host
Integrationsprotokoll.


Plattformen & Services: ToolCommander®; Windows 10, TwinCAT, CC-Link